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汉诺威米兰展览宣布与广州巴斯特成立合资公司

摘要:经过长达几年的谈判与努力,世界领先会展巨头——汉诺威米兰展览(上海)有限公司于近日正式宣布全面收购由广州市巴斯特会展有限公司主办的中国(广州)国际物流装备与技术展览会(以下简称LET),并与广州巴斯特成立合资公司——汉诺威米兰佰特展览(广州)有限公司。根据双方合资约定,汉诺威米兰拥有新公司过半的股份。新公司董事长由汉诺威米兰展览(上海)有限公司董事总经理刘国良担任,部分汉诺威高管加入领导层,广州

  • 浅谈罗茨真空泵在600MW供热机组应用

    作者:李强

    介绍了罗茨真空泵的工作原理,阐述了真空泵组改造的意义,提出了改造方案,并对改造后的效果进行了分析。结果表明:罗茨真空泵组在改造投入运行后,达到了预期的节能效果,同时也解决了原有真空泵组因冷却水问题,导致机组真空下降的安全隐患,大大提高了设备运行的可靠性。

  • 水环真空泵常见故障分析

    作者:邱伟平;揭择辉;姚吉飞

    作为最普遍的真空泵类型之一,水环真空泵在多个领域获得了非常广泛的应用。所以将水环真空泵的故障维修工作做好,确保水环真空泵能够始终处于高效、稳定、可靠的运转状态,对于保障社会生产效率和生产安全具有有着重要的意义和作用。本文试图结合笔者自身工作实践经验,对水环真空泵常见故障进行了深入的分析,然后在此基础上提出了相应的维修建议,希望能借此给予相关人员一定参考借鉴。

  • 大型真空球罐屈曲失稳分析

    作者:徐永生;杨智荣;索洪超

    大型真空球罐的承压方式为承受均布外压,其主要失效模式为薄壳屈曲失稳。以容积为18000m~3的大型真空球罐为例,对比分析了标准法、公式法和有限元法在计算真空球罐极限外压时的差别,并利用ANSYS有限元分析软件计算了含加强筋结构大型真空球罐的屈曲极限外压。从分析结果可以看出,加强筋结构可以有效提高大型真空球罐的抗失稳能力。

  • 真空干燥箱的校准方法分析及常见问题解析

    作者:刘鑫

    真空箱按其工作室几何形状可分为立方体和圆柱体。真空箱的极限压力一般为-0.1MPa,常见的真空箱的压力指示测量范围一般为(-0.1~0)MPa,每0.02MPa为一个标有数字的分度线。真空箱最高工作温度可分为150℃、200℃和250℃,其他温度等级由制造商与用户协商确定。根据不同最高工作温度的真空箱,温度偏差的技术要求略有不同:对于最高工作温度≤200℃的真空箱,其最大允许误差为±3℃;对于最高工作温度

  • 一种MEMS陀螺晶圆级真空封装工艺

    作者:王帆;刘磊;张胜兵;刘阳

    为了提高MEMS陀螺的品质因数(Q值),提出了一种晶圆级真空封装工艺。先在陀螺盖帽晶圆上刻蚀出浅腔,然后在浅腔结构上制备钨(W)金属引线,再通过PECVD工艺淀积介质层,在介质层上制备钛/金(Ti/Au)键合环,最后将盖帽晶圆与制备好的结构晶圆完成金硅共晶键合,并利用吸气剂实现晶圆的长久真空封装。经测试,采用本方案的封装的气密性与金属层厚度紧密相关,调整合适的金属层厚度后可使真空泄漏速率小于2.0×10-12 Pa·m~3·s-1。此外,设计了一种特殊的浅腔阵列结构,该结构将金硅键合强度从小于20 MPa提升至大于26 MPa,同时可防止键合时液相合金向外溢流。对陀螺芯片的性能测试表明,该真空封装工艺简单有效,封装气密性良好,Q值高达168 540,满足设计指标要求。

  • DN1250液氮屏蔽型制冷机低温泵的研制与性能测试

    作者:赵月帅;孙立臣;邵容平;闫荣鑫;孙伟;李征

    北京卫星环境工程研究所研制了四台DN1250口径的液氮屏蔽型制冷机低温泵。该低温泵已经作为大型空间环境模拟系统的高真空主泵投入使用,满足了热真空试验对高真空的需求,取得了良好的效果。本文主要针对该低温泵的三种主要性能指标(抽速、降温时间和渡越容量)的设计方法、性能测试方法以及结果进行介绍,测试结果表明该系列低温泵对氮气的抽速达到了57000L/s,降温时间约330min,渡越容量达到3.0×10~5Pa·L。

  • 基于有限元的分子泵高速轴系优化设计

    作者:宁远涛;黄涛;陈琦;张延顺;齐晓军

    分析了复合式脂润滑分子泵高速轴系的力学性能,进行了分子泵高速轴系优化设计。本文以CG-250/1600型复合分子泵作为原型,优化改进了轴承支承跨距和轴系刚度,采用有限元法对比分析计算了高速轴系优化设计前后的动静态力学性能,得到转子系统工作转速内的所有临界转速和模态阵型,并对两种结构进行了试验验证。结果表明:试验结果和理论分析基本一致。优化后,转子系统临界转速小幅变化,幅频特性基本不变,启停过程更平稳,初始不平衡响应振幅明显下降,减小了共振带来的安全隐患,同时极大地降低了转子系统动平衡的调试难度。

  • 中国真空学会科技工作者日活动暨2019新春联谊会

    作者:

    2019年1月12日,由中国真空学会主办,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司承办的"中国真空学会科技工作者日活动暨2019新春联谊会"在沈阳举行。中国真空学会副理事长巴德纯、雷震霖、李得天、苏原、中国通用机械真空设备行业协会分会理事长张永明及来自全国各地的近百位嘉宾出席了活动。

  • 便携式动态相对法真空标准装置简介

    作者:

    便携式动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制的现场校准设备,良好的解决了真空设备连续生产无法送检校准、真空计送检过程易损等问题。为用户带来更大效益与便利。主要用途:用于对现场的各类真空计的校准。装置结构紧凑便于携带,

  • 动态相对法真空标准装置简介

    作者:

    动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制,主要技术指标均达到国内先进水平,并通过了中国计量科学研究院考核,具有校准范围宽,气体动平衡稳定性好等特点。主要用途:用于企业、计量部门的各类真空计校准。

  • 2018年发布的真空技术标准

    作者:

  • 粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会在肇庆市召开

    作者:

    2018年11月29-12月1日,由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办,广东振华科技股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、广东腾胜真空技术工程有限公司联合承办的粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会在肇庆市隆重举行。来自日本、新加坡、法国、香港以及省内外的300多名专家学者、工程技术人员与企业管理人员参加大会。肇庆市委、市科协、市经信局和市科技局主管领导出席大会。

  • 一种用于粒子加速器的新型高流导离子泵

    作者:亚历山德罗·阿巴特科拉

    离子泵(IGP)是一种特别适用于现代加速器设备的真空获得设备。它们具有长寿命、高可靠性、高清洁度、密闭抽气等特点,并且因为没有振动,不会干扰粒子束的运行轨迹。通常,离子泵通过一个与主管道形成T形的支管与主管道连接,这种连接方式降低了离子泵有效的抽速,并且需要使用复杂且昂贵的射频(RF)屏蔽。而且,加速粒子通常对杂散磁场比较敏感,由离子泵磁体产生的非对称磁场(对加速器束线管而言)是这些杂散磁场的主要来源。安捷伦与DESY (德国电子同步加速器Deutsche ElektronenSynchrotron)合作开发了一种新型的高流导离子泵。350台使用这种创新设计(专利号:EP2 431996A1)的离子泵,被安装在了DESY的X-FEL系统上,离子泵在历史上第一次成为了束线管的组成部分。该泵不使用T型支管而是直接安装在束线管上并成为束线管道的一部分,这使得离子泵的有效抽速最大化并简化了安装;离子泵的磁铁对称的排列在束线管周围,减少了杂散磁场;同时,RF屏蔽也可以很容易被集成在泵内。该在线结构的离子泵有望成为类似应用的标准,为全球相关实验室真空系统开辟新的设计方向。

  • 真空应用设备检漏方法的探讨

    作者:王春明;张明达;苏玉萍

    本文首先浅述了氦质谱检漏技术的原理和喷吹检漏法,并以真空应用设备中的真空炉为例,针对其在实际生产中常见的几种泄漏问题进行了细致分析并制定了解决方法。

  • 爪式真空泵全光滑直爪的设计与工作过程模拟

    作者:王君;崔冬;刘瑞青;张凌宏;崔锋;刘强

    爪式转子型线是提高真空泵工作性能的关键因素;针对现有的直爪转子存在尖点或不光滑连接点的问题,本文通过研究共轭曲线的啮合理论,提出了一种新型能够实现正确啮合的全光滑直爪转子,推导了其型线方程。利用三维数值模拟研究了直爪爪式真空泵的工作过程,得到了其内部流场,比较了新型全光滑直爪转子与现有直爪转子的不同。研究结果表明:所提出的转子在工作中不存在余隙容积中气体的过压缩过程,因而在工作性能和内部流动方面都优于现有的爪式转子。

  • 一种下限为5×10-16Pa·m3/s的高精度超灵敏度检漏装置

    作者:卢耀文;李得天;齐京;董云宁;王欢;闫睿;杨传森;延峰;查良镇

    为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10-16Pa·m3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10-11Pa·m3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10-12Pa·m3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10-15Pa·m3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10-16Pa·m3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12~5×10-16Pa·m3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%~13%。

  • 涡轮分子泵入口结构改进的计算研究

    作者:孙坤;张世伟;赵凡;李海涛;张志军;韩进

    针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,把过渡连接件做成圆弧过渡段结构。文中根据实际结构参数,建立了不同结构类型的计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,基于自由分子流态基本假设,利用Molflow+软件,计算了各个结构模型的传输几率。计算结果表明:当倾角α的取值范围在60°~70°、圆锥底角β的取值范围在25°~45°之间时,理论上可将涡轮分子泵的抽气速率提升5%左右。

  • MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展

    作者:王呈祥;韩晓东;李得天;成永军;孙雯君;李刚

    近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。

  • 分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定

    作者:查永康;赵澜

    分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方面对真空漏孔校准装置的不确定度进行评定,提高了校准装置校准的可靠性。

  • 基于S7-200的真空泵系统研究

    作者:赵素玲

    真空泵系统在很多领域的应用越来越广泛,如电力行业、石油化工业、环保行业等。本文是对基于西门子S7-200为控制器的真空泵系统进行研究,此系统主要用于污水处理,主要包括废水处理、沼气压缩、垃圾产生气体回收(生物气体)、活性污泥箱软化等几个主要功能模块。

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